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　　等離子清潔機又稱等離子清洗機，又稱等離子表面處理儀，是一項高新技術(shù)，利用等離子體達到傳統(tǒng)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的第四種狀態(tài)，它不屬于常見的固體、液體和氣體三種狀態(tài)。

　　當氣體以足夠的能量電離時，就會出現(xiàn)等離子體狀態(tài)。等離子體中的“活性”成分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體清洗機就是利用這些活性組分的性質(zhì)對樣品表面進行處理，然后完成清洗、涂層等目的。等離子體產(chǎn)生條件：反應(yīng)氣體和反應(yīng)壓力滿足。

　　反應(yīng)產(chǎn)物必須能高速撞擊清洗物體表面，并有滿意的能量供應(yīng)。反應(yīng)后產(chǎn)生的物質(zhì)必須是揮發(fā)性的精細組合，以便于真空泵將其抽走。泵的容量和轉(zhuǎn)速必須滿足大的要求，這樣才能迅速排出反應(yīng)副產(chǎn)物，并需要快速補充反應(yīng)所需的氣體。

　　為什么等離子清洗機有臭味?答案是：臭氧。等離子體放電過程中產(chǎn)生臭氧的基本原理是低溫等離子體大氣中的含氧氣體在放電反應(yīng)器中形成，氧分子被具有一定能量的自由電子分裂成氧原子，臭氧分子之間也發(fā)生了碰撞反應(yīng)。臭氧，其化學式為O3，又稱為三氧和超氧物。

　　因其腥味而得名，在室溫下可還原為氧氣。它比氧的比重大，溶于水，易于鑒別。因為臭氧是由氧分子和一個氧原子組成的，它只是一種暫時的狀態(tài)。除了被氧化消耗外，剩余的氧原子被結(jié)合成穩(wěn)定狀態(tài)，因此不會對臭氧造成二次污染。如果我們通過含氧氣體，那么在反應(yīng)過程中會發(fā)生少量的臭氧，正是因為臭氧的出現(xiàn)，所以我們在使用等離子清洗機時有時會聞到一股異味，這就是為什么等離子清洗定時會有異味。